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| 序号 | 指标名称 | 指标参数 | 
| 1 | 负载重量 | 15kg | 
| 2 | 线加速度范围 | 0.2~120g | 
| 3 | 工作位 | 6个 | 
| 4 | 平面度 | 0.01mm | 
| 5 | 端面跳动量 | 0.01mm | 
| 6 | 角位置精度 | 5″ | 
| 7 | 角位置分辨率 | 0.001° | 
| 8 | 角速率精度及平稳性 | 2×10-6 | 
| 9 | 线加速度分辨率 | 0.001g | 
| 10 | 导电滑环 | 65环,3A | 
| 11 | 外形尺寸 | 1850×1600×1220mm | 
| 12 | 设备自重 | 2000kg |