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| 序号 | 技术指标 | 范围 | 
| 1 | 负载特性要求 | 5kg | 
| 2 | 自由度 | 上下、左右运动的2个自由度 | 
| 3 | 最大线加速度 | 35m/s2 | 
| 4 | 最大线速度 | 2.5m/s | 
| 5 | 频带(双十) | 3.5Hz(幅度为10cm) | 
| 6 | 两轴两两垂直度 | 优于±5ˊ | 
| 7 | 静态定位精度 | 优于0.1mm | 
| 8 | 两轴行程范围 | 上下±0.85m,左右±1.25m |