编号

项目

指标参数

1

自由度数及结构

六自由度（偏航、俯仰、横滚、升降、侧向平移及纵向平移）；采用Stewart结构

2

负载重量

30kg

3

最大工作频率

5Hz

4

步进精度

1μm

5

台面

行程

X轴

行程±30mm，角度±10°

6

Y轴

行程±30mm，角度±10°

7

Z轴

行程±25mm，角度±30°

8

外形尺寸

Φ320×254mm