序号 

技术指标 

范围 

1 

负载特性要求 

5kg 

2 

自由度 

上下、左右运动的2个自由度 

3 

最大线加速度 

35m/s² 

4 

最大线速度 

2.5m/s 

5 

频带（双十） 

3.5Hz（幅度为10cm） 

6 

两轴两两垂直度 

优于±5ˊ 

7 

静态定位精度 

优于0.1mm 

8 

两轴行程范围 

上下±0.85m,左右±1.25m